一、产品概述

Keysight 5517C（OPT 003、A6J）属于高精度双频氦氖激光头，作为激光干涉仪精密位移测量系统的核心光源单元，专为高速运动场景下的纳米级定位检测设计。OPT 003 代表 3mm 细光束输出配置，A6J 为原厂高精度校准选件，可输出 632.991354nm 稳定双频激光，依托塞曼分裂外差检测原理，实现位移、速度、角度、直线度等几何量超高精度测量。该激光头参考频率 2.4~3.0MHz，支持最高 696mm/s 线性运动测速，广泛适配半导体光刻、平板显示制造、三坐标精密计量、机床精度标定、光学实验室检测等场景，既可配套 5501A、5527A、5572A 等干涉仪系统搭建自动化测量平台，也可作为老旧精密检测设备的原装备件完成替换升级Keysight。

二、硬件结构与组成

1. 双频氦氖激光谐振发射单元

内部搭载密封式氦氖激光谐振腔，采用塞曼磁致分裂技术生成正交偏振的两路频差激光，可长期维持波长稳定输出；OPT 003 配置 3mm 细光束光学准直模组，相比标准 6mm 光束，更适配狭小空间光路布局、长距离传输场景，可有效降低光束衍射损耗，提升远距离测量下的信号信噪比；A6J 校准选件按照 MIL-STD 45662 标准完成出厂溯源校准，将真空波长精度优化至 ±0.02ppm，满足计量级设备法定校准溯源要求。谐振腔集成恒温温控回路，抑制环境温漂带来的波长偏移，保障长时间连续测量的数据一致性，整机典型平均无故障工作时长超 50000 小时。

2. 电源驱动与稳压防护单元

采用双极性直流供电架构，支持 + 15V、-15V 两路稳压输入，内置过压、欠压、反接、浪涌多级硬件保护电路；电源驱动模块搭载高精度恒流控制芯片，稳定维持激光管工作电流，避免电压波动造成输出功率跳变；板载温度实时采集电路，可监测谐振腔、功率器件工作温度，异常工况下锁存故障状态，同时向上位采集系统输出故障告警信号，防止激光源过热老化损坏。

3. 偏振光路与光束定位单元

两路激光分别为水平、垂直正交偏振输出，光束基准高度 79.5±1.0mm，出厂完成精密光路调校，确保光束平行度、偏振度满足干涉接收模组匹配要求；底座预留标准化安装定位基准面，搭配 M6、1/4-20 两种规格安装螺纹孔，可直接固定在光学平台、精密位移台、设备机架上，保障多轴光路搭建时的重复定位精度。

4. 外壳结构与散热安装单元

整机采用铝合金压铸密封壳体，热膨胀系数与光学平台铝材匹配，最大程度规避温度形变带来的光路偏移；采用自然对流散热设计，底座大面积散热结构可快速传导谐振腔工作热量，设备四周需预留充足通风空间；底座可拆卸安装支脚，既可以支脚固定安装，也可拆除支脚利用底部沉头螺纹孔嵌入式安装，兼容实验室、自动化产线多种安装布局，可直接兼容同系列 5517C 各选件机型的安装基座，实现原位替换安装。

三、技术参数

（一）光学电气参数

激光类型：连续波塞曼双频氦氖激光，II 类安全激光产品

标称真空波长：632.991354nm

波长精度：标配 ±0.1ppm；A6J 校准选件 ±0.02ppm（MIL-STD 45662 溯源校准）

波长稳定度：1 小时典型 ±0.002ppm，生命周期典型 ±0.02ppm

参考频差：2.4~3.0MHz

光束规格：OPT 003，光束直径 3mm，光束高度 79.5±1.0mm

输出功率：最小 180μW，最大 1mW

最大线性测量速度：696mm/s

供电规格：+15V±0.3V（最大 3.0A）、-15V±0.3V（最大 0.3A）

预热稳定时间：90 分钟

（二）环境参数

工作温度：20℃±2℃（高精度计量推荐），允许工作范围 15℃~30℃；存储运输温度：-20℃~+60℃

相对湿度：20%~80% RH，无凝露、无腐蚀性气体、粉尘

抗振动：运输工况满足 IEC 标准抗振动、冲击要求，工作状态需避免持续振动、冲击

电磁兼容：符合工业级 EMC 标准，可抵御静电、电快速脉冲干扰

（三）机械参数

安装方式：支脚固定式 / 底部螺纹嵌入式安装，M6、1/4-20 UNC 安装孔

整机重量：3.4kg

外壳材质：铝合金压铸密封壳体

标配选件：OPT 003（3mm 细光束）、A6J 高精度计量级波长校准

适配系统：Keysight 5501A、5527A、5572A 激光干涉仪测量系统、VME/PC 架构精密定位测控系统

四、产品功能与特性

OPT 003 细光束设计，适配狭小光路与长距离测量场景

3mm 小直径准直光束，衍射效应更低，长距离传输下光束能量衰减小，可适配狭小设备内腔、多轴密集光路布局场景，相比标准 6mm 光束，能大幅降低光路遮挡风险，提升紧凑型自动化设备内干涉测量的稳定性。

A6J 溯源级校准配置，满足计量合规与超高精度检测需求

经过军方标准溯源校准，波长测量精度大幅提升，检测数据具备法定计量溯源效力，可用于第三方精度标定、实验室标准量值传递、高端半导体设备定位精度检测等对测量误差严苛管控的应用场景，测量结果可出具合规校准报告。

双频外差干涉测量，实现高速动态位移高精度检测

依托 2.4~3.0MHz 频差双频激光，可支持近 700mm/s 高速运动目标实时位移采集，在高速光刻机、面板涂布设备的动态定位误差检测中，不会出现信号丢帧、测速失真问题，兼顾纳米级静态精度与高速动态测量稳定性。

恒温密封谐振腔设计，长时间连续运行稳定性优异

内置闭环温控回路，抑制环境温漂对激光波长、输出功率的影响，可满足产线 7×24 小时不间断在线精度检测需求，大幅降低频繁停机光路重新校准的频次，提升自动化产线检测效率。

标准化机械安装与向下兼容，设备改造替换便捷

统一的安装基准、光束高度与电气接口，可直接替换同系列不同光束规格的 5517C 激光头，原有光路布局、供电接线无需大幅改动，搭配原厂校准数据可快速完成系统复现，缩短老旧设备升级调试周期。

工业级安全防护设计，适配实验室与洁净产线工况

II 类安全激光等级，正常使用下不会造成眼部辐射损伤，铝合金密封防尘结构适配半导体、面板行业洁净车间使用，内置多级电气防护，可抵御现场供电小幅波动、静电干扰，保障精密光学光源长期可靠工作。

五、适用工况与应用场景

半导体光刻设备、晶圆封装设备 X/Y/Z 三轴定位精度、重复定位误差、直线度激光干涉校准检测。

液晶、OLED 面板生产线涂布、切割、搬运高速运动平台动态位移、速度精度在线标定。

计量院、第三方检测实验室三坐标测量机、精密机床、光栅尺等长度类标准器具量值溯源校准（A6J 校准选件适配计量合规要求）。

光学精密加工、高精度位移台、光纤耦合设备纳米级位移、角度、俯仰偏差精密测量场景。

老旧安捷伦 / 是德 5517 系列激光干涉仪系统备件替换、紧凑型光路测量设备升级改造项目。