ZYGO ZMI-4104
一、概述
ZYGO ZMI-4104 是 ZYGO 公司 ZMI™系列中的一款高性能电子计量板,在高精度位移测量领域有着重要地位。它主要与干涉仪配合工作,能够对各类精密设备的位移、位置等参数进行精准测量,为半导体制造、精密光学加工、科研实验等对测量精度要求极高的领域提供可靠的数据支持,是保障相关生产和研究工作顺利开展的关键设备。

二、技术参数
- 测量性能
- 分辨率:具备亚纳米级的测量分辨率,可精确捕捉小至 0.1 纳米的位移变化,满足高精度测量场景的需求。
- 测量轴数:支持四轴同时测量,能够对目标物体在多个方向上的位移进行同步监测,全面反映物体的运动状态。
- 接口与通信
- 通信接口:采用 VME 接口,这是一种高性能的数据采集与控制系统标准接口,数据传输速率高且稳定,可实现与外部设备(如运动控制器、数据采集终端等)的高效数据交互。
- 扩展能力:基于模块化设计,可与其他 ZMI™系列板卡协同工作,能将测量系统轻松扩展至更多轴数,最多可支持 64 轴测量,适应不同规模的测量需求。
- 环境适应参数
- 工作温度:通常在 0°C 至 50°C 的范围内可稳定工作,能适应工业现场和实验室的常见温度环境。
- 相对湿度:在非凝结的情况下,可承受一定范围的相对湿度(具体参考产品手册),避免因湿度过高影响设备性能。

三、功能特点
- 高精度多轴测量:凭借亚纳米级的分辨率和四轴同步测量能力,能够精准获取目标物体在多个方向上的位移信息。在精密机床加工中,可同时监测工作台在 X、Y、Z 轴及旋转轴的位移,为机床的精准控制提供依据,保障加工零件的精度。
- 高效数据处理:内置先进的信号处理算法,能对干涉仪传来的光学信号进行快速、准确的分析和处理,有效过滤噪声干扰,提取出真实可靠的测量数据,确保测量结果的准确性和稳定性。
- 灵活的扩展性:采用模块化设计,可与同系列其他板卡灵活组合,轻松扩展测量轴数。当生产或实验规模扩大,需要对更多运动部件进行监测时,无需更换整个测量系统,降低了系统升级的成本。
- 良好的兼容性:通过 VME 接口与外部设备连接,兼容性强,能与多种运动控制系统、数据采集软件等协同工作,便于融入现有的测量和控制体系,提高系统的整体工作效率。

四、常见故障及解决办法
- 测量数据不准确
- 现象:测量结果与实际位移偏差较大,或多次测量同一位置数据重复性差。
- 光路异常:干涉仪光路中有灰尘、污渍,或光学元件位置偏移,会影响测量精度。定期清洁光路中的光学元件,重新校准干涉仪光路,确保光路畅通且准确。
- 信号干扰:周围存在强电磁干扰,会干扰测量信号的处理。检查设备周围是否有大功率电器、强磁场源等,采取屏蔽措施,如使用金属屏蔽罩,或远离干扰源。
- 通信故障
- 现象:与外部设备通过 VME 接口连接后,无法进行数据传输,或数据传输中断、延迟。
- 接口连接问题:VME 接口连接松动、接触不良,或接口损坏。检查接口连接,重新插拔确保连接牢固;若接口损坏,更换相应的接口部件。
- 协议不匹配:与外部设备的通信协议不一致,导致数据传输失败。确认设备与外部设备的通信协议,重新配置协议参数,使其匹配。
- 设备无法正常启动
- 现象:接通电源后,设备无反应,指示灯不亮,无法进入工作状态。
- 电源问题:电源连接松动,或电源适配器故障,导致设备供电异常。检查电源连接,确保插头插紧;若电源适配器故障,更换同规格的电源适配器。
- 内部硬件故障:设备内部电路、芯片等硬件损坏。联系专业维修人员对设备进行检测,更换损坏的硬件部件。